佳能EOS M5的机身内置了236万像素EVF，这也是EOS M系列相机首次配备，机身配备五个操控转盘，模式转盘、曝光补偿、前后拨轮以及设置转盘。加入了EVF、多转盘操控，自然手柄也有配置，EOS M5机身自重427g，体积近似佳能100D单反相机。背屏配置3.2英寸162万点可触控LCD背屏，可向上85°向下180°翻转，依旧可以自拍，除此之外，在使用EVF取景时，背屏可充当传统的“拨杆”来选择对焦点的位置。

在规格上，EOS M5采用2420万像素APS-C画幅传感器，搭载DIGIC 7图像处理器，ISO范围是100～25600，快门速度为1/4000～30s，闪光同步速度为1/200s，最高连拍速度为9张/秒，并且拥有全像素双核CMOS AF对焦系统。视频摄录上，EOS M5最高支持1080P/60fps摄录，并且在视频拍摄时拥有5轴电子防抖加持。其他方面，EOS M5内置Wi-Fi、蓝牙传输介质，存储支持SD / SDHC / SDXC（UHS-I兼容）。

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